Розроблення елементів сенсорної техніки на основі структур кремній-на-ізоляторі та мікрокристалів кремнію, модифікованих домішками бору і нікелю

Дисертація на здобуття наукового ступеня
доктора технічних наук
Науковий керівник / консультанти
д.т.н., проф. Дружинін Анатолій Олександрович
Спеціальність
05.27.01 — твердотільна електроніка
Дата захисту
14.04.2016 16:13
Статус
дисертація захищена